半导体设备零部件行业研究报告：高度依赖进口，核心零部件进入投资元年

核心零部件作为半导体设备乃至半导体产业链的基石，尽管其市场规模估计 200-300 亿美元，但市场集中度高，且主要被美国、日本、欧洲等国际品牌垄断，从上市公司公告信息看，本土的半导体零部件供应商也发展迅速，有望借半导体全产业高景气之势，加快成长步伐。

核心零部件作为半导体设备乃至半导体产业链的基石，尽管其市场规模估计 200-300 亿美元，但市场集中度高，且主要被美国、日本、欧洲等国际品牌垄断，从上市公司公告信息看，本土的半导体零部件供应商也发展迅速，有望借半导体全产业高景气之势，加快成长步伐。

半导体零部件包括设备核心部件和厂务辅助设备。半导体设备关键子系统主要分为 8 大类：气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、电源及气体反应系统、热管理系统、晶圆传送系统、其他集成系统及关键组件。半导体零部件产品具体包括工艺腔室、传输腔室、静电卡盘、阀门、规、真空泵、工件台、物镜系统、激光源等，辅助设备包括温控装臵、干泵、尾气处理装臵和真空隔离阀等。

半导体零部件市场规模估计为 200-300 亿美元，且伴随晶圆厂资本开支长期高成长。根据全球主要半导体设备零部件供应商经营规模统计，估计非光刻机类的设备零部件市场规模约 100-200 多亿美元，而光刻机零部件市场规模超过 50 亿美元，厂务附属设备市场规模约 20 亿美元，晶圆厂每年采购备品备件也具备一定的市场规模。具体分类看，射频电源、MFC、真空泵等细分市场规模估计均在 20 亿美元上下。

半导体零部件竞争格局：高度集中在美国、日本企业。我们对全球主要半导体零部件企业的半导体收入进行统计，美国半导体零部件企业的合计收入占比 44%，日本半导体零部件企业合计占比 33%，欧洲占比 21%。美国半导体零部件企业主要有 MKS、AE、UCT、Ichor、Brooks等，日本半导体零部件企业包括京瓷、Ebara、Horiba、富士金、新光电气等，欧洲则包括爱德华、Inficon 等半导体零部件企业。

半导体零部件国产化：目前半导体核心零部件高度依赖进口，但已初步形成国产化趋势。据我们统计各家半导体设备企业的前五大供应商，半导体真空设备零部件较大程度的依赖于美国的 MKS、UCT，以及日本的 RORZE CORPORATION、Ferrotec 等外资品牌。具体到零部件产品上，密封圈、静电吸盘、阀类、陶瓷类真空压力计等零部件大部分需要进口。目前国内涌现出一批半导体零部件企业，如万业企业通过参与收购 Compart 布局零部件业务，新莱应材与应用材料、Lam Research 在真空系统领域长期合作，以及江丰电子、神工股份等。